De doelwearde fan relative fochtigens yn in skjinne keamer foar healgeleiders (FAB)

De doelwearde fan relative fochtigens yn in skjinne keamer foar healgeleiders (FAB) is sawat 30 oant 50%, wêrtroch in smelle flatermarge fan ± 1% mooglik is, lykas yn 'e litografysône - of sels minder yn 'e sône foar fier ultraviolette ferwurking (DUV) - wylst it earne oars ûntspannen wurde kin nei ± 5%.
Omdat relative fochtigens in ferskaat oan faktoaren hat dy't de algemiene prestaasjes fan skjinne keamers kinne ferminderje, ynklusyf:
1. Bakteriële groei;
2. Komfortberik foar keamertemperatuer foar personiel;
3. Elektrostatyske lading ferskynt;
4. Metaalkorrosje;
5. Wetterdampkondensaasje;
6. Degradaasje fan litografy;
7. Wetteropname.

Baktearjes en oare biologyske fersmoargjende stoffen (skimmels, firussen, skimmels, mijten) kinne bloeie yn omjouwings mei in relative fochtigens fan mear as 60%. Guon baktearjemienskippen kinne groeie by in relative fochtigens fan mear as 30%. It bedriuw is fan betinken dat de fochtigens kontroleare wurde moat yn it berik fan 40% oant 60%, wat de ynfloed fan baktearjes en luchtweginfeksjes minimalisearje kin.

In relative fochtigens tusken de 40% en 60% is ek in matich berik foar minsklik komfort. Tefolle fochtigens kin minsken in benaud gefoel jaan, wylst in fochtigens ûnder de 30% minsken in droege, barste hûd, sykheljensûngemak en emosjoneel ûngelok kin jaan.

De hege fochtigens ferminderet eins de opgarjen fan elektrostatyske ladingen op it oerflak fan 'e skjinne keamer - in winske resultaat. Lege fochtigens is ideaal foar ladingopgarjen en in potinsjeel skealike boarne fan elektrostatyske ûntlading. As de relative fochtigens mear as 50% is, begjinne de elektrostatyske ladingen rap te ferdwinen, mar as de relative fochtigens minder as 30% is, kinne se lange tiid oanhâlde op in isolator of in net-grûnd oerflak.

In relative fochtigens tusken 35% en 40% kin brûkt wurde as in befredigjend kompromis, en skjinne keamers foar healgeleiders brûke oer it algemien ekstra kontrôles om de opgarjen fan elektrostatyske ladingen te beheinen.

De snelheid fan in protte gemyske reaksjes, ynklusyf korrosjeprosessen, sil tanimme mei de tanimming fan relative fochtigens. Alle oerflakken dy't bleatsteld wurde oan 'e loft om 'e skjinne keamer hinne binne fluch.